落合・青木グループ 実験設備・装置


研究室内設備


クリーンルーム
エアシャワー 内部1 内部2 内部3
シールドルーム
内部1 内部2 内部3
ヘリウムガス回収設備





研究室内装置


LT-SPM atto-Cube
(3Heクライオスタットに取り付けて使用します)
3He冷凍機 Janis
(最低温度 300mK)
3He冷凍機 Oxford
(高周波照射ライン装備、最低温度 300mK)
写真はデュワーに挿入している状態です。
温度可変4探針プローブステーション
(100K〜500K,ラマン散乱分光測定も可能です)
9/11T超伝導マグネット付きHeデュワー
(デュワーごと除振することができます)
ロックインアンプ
(微小な電流・電圧測定に使用します)

サンプリング・オシロ
(Tektronix製,50GHzまでサンプリング可能)
走査型電子顕微鏡/電子線描画装置
(日本電子/サンユー電子)
シンセサイズドCWジェネレータ
(アンリツ製,40GHzまで出力可能)
原子間力顕微鏡
Molecular Imaging, PicoScanII
真空原子間力顕微鏡チャンバー
(自作品)
低温SPMの操作画面
(Anfatech社製)
半導体パラメータアナライザー
(Keithley 4200)
簡易低温プローバー
長瀬電子産業
(最低温度 5K)
グリーンレーザー・光渦発生システム
(奥の装置はラマン散乱分光用分光器)
管状電気炉
(〜1000℃)
有機薄膜蒸着/測定装置
ビームトロン
(液体He温度での蒸着が可能)
電子線/抵抗加熱蒸着器
(キャノンアネルバ製)
マスクアライナー
(自作品)
高温加熱装置
(アルバック社製)
原子層接合用マニピュレーター
(自作品)
超音波ボールボンダ
(超音波工業製)
4Heリークディテクタ
(アルバック Heriot
ソースメジャーユニット
Keithley2400,2601など
上記の他にも
超純水製造機などの半導体プロセス設備、
旋盤などの工作装置、Vector Works、
LabVIEW7、MATLABなどのソフトウェアを
所有しています。




〒263-8522 千葉市稲毛区弥生町1-33 千葉大学自然科学系総合研究棟2,1階
Depaerment of Nanomaterial Science, Chiba University, 1-33 Yayoi-cho, Inage-ku, Chiba 263-8522, Japan
Tel:043-290-3430, Fax:043-290-3427
E-mail to Associate Prof. Nobuyuki AOKI: n-aoki@faculty.chiba-u.jp
Web: http://adv.chiba-u.jp/nano/qnd/index.html