3．改良した装置の性能
3.1 分解能
分解能は、銀薄膜のフェルミ端の広がりから見積もった。スペクトル測定には、中心波長254 nmのフィルター（分解能0.15 eV）を用いた。このフィルターは、前回使ったもの（0.25 eV）よりも分解能が向上している。
前回同様に［1］、スペクトルを微分しガウス関数をフィッティングして、装置分解能を見積った。この結果、半値幅0.27 eVとなった。実測した電子線のエネルギー広がりが0.23 eVなので、電子線のエネルギー広がりとバンドパスフィルターの分解能の畳み込み（convolution）とよく一致している。
スペクトルの微分を数値計算すると、ノイズの影響を受けやすい。スペクトルのわずかな変化量が微分だからである。そこで、スペクトルを微分する代わりに、フィッティングする関数を積分しても同じはずである。ガウス関数の積分は、誤差関数（error function）。これを基の微分する前のスペクトルにフィッティングしたのが図3.1の上のパネルである。数学的には等価であるが、ノイズに対しては強い。つまり、短い積算時間で測定したＳＮ比の悪いスペクトルでも解析できるので、実用的にはとても便利である。
図3.1 銀薄膜のLEIPSスペクトル
3.2 スペクトル強度
亜鉛フタロシアニン（ＺｎＰｃ）のスペクトルを測定して、前の装置と信号強度を比較してみた。前回は銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）だったが、フタロシアニンのＩＰＥＳスペクトルは中心金属にあまりよらないことがわかっているので[2]、強度の比較ができる。
図3.2がＺｎＰｃのスペクトルである。信号強度は、約10倍に増えている。これは、レンズを近づけた効果（集光効率が4倍向上）、試料や基板による光の吸収がないこと（約2倍）によるものと考えられる。
図3.2 亜鉛フタロシアニンZnPcのLEIPSスペクトル
[1] H. Yoshida, Chem. Phys. Lett. 539-540, 180-185 (2012).
[2] H. Yoshida, K. Tsutsumi, N. Sato, J. Elect. Spectrosc. Relat. Phenom. 121, 83-91 (2001).
